標題日本電子掃描電鏡SEM影像的拍攝要點

    通過利用掃描電鏡觀察樣品必須遵循：小倍率選區；高倍率放大；移動樣品至適當位置，調焦；調亮度和反差至最佳；拍攝的過程。而且一般都是機器自動設定拍攝時間和掃描速度，進行影像拍攝，而且是逐點逐行地掃描拍攝，并不是一下子將整幅影像拍攝下來。針對掃描電鏡的特殊要求以及掃描電鏡的成像原理，瑞盛科技總結出一些優良SEM影像照片的拍攝要點。

  一、聚光鏡電流的選擇
    聚光鏡電流的大小將直接影響電子束的亮度以及光斑直徑的大小，也影響成像的分辨率和反差。在保證足夠的觀察條件、拍攝的亮度和反差的需要下，應盡量使聚光鏡電流稍為大一些，以獲取較小的電子束流探針直徑，得到較高分辨率；但聚光鏡電流又不可太大，太大則使電子束流能量太低，信號與噪聲的強度比（信噪比）下降，影像也會平淡無力,缺少立體感。故聚光鏡電流的調節應和亮度與反差相配合。
  二、亮度和反差的調節
    高反差能增加立體感，但卻損失了許多細節，所以在保證較好反差的情況下，要調出足夠的灰度等級。SEM上常設有亮度及反差的調節指示表。操作者可根據指示表去調整，參照自己觀察對象的目的需要，適當地給予補償。
    3.加速電壓的選擇
    加速電壓的提高，縱然可以增大電子束的能量，提高信噪比和反差，這只是一個單方面的因素，從另一方面考慮，也會增加背散射電子的數目和電子束的穿透力,這樣影像中物體邊緣的銳利度會降低，也將使分辨力下降。 通�？梢愿鶕�影像質量和拍攝需要進行選擇。
    4.樣品傾斜度和光闌孔徑的選擇
    樣品臺除可向X、Y方向移動外，還可以做一定量的傾斜。傾斜樣品臺等于讓電子探針從側面轟擊樣品，就象日常拍攝照片時一樣，用側光比用正面光能得到更好的立體感。但傾斜面的兩側不在同一平面上，傾斜太多則不好兼顧聚焦，會造成兩側模糊，同時也會損失一些細節。光闌孔小時，能提高反差，增大立體感和景深范圍，但太小則損失能量多，光衍射增大，也會影響分辨率。
    5.消像散與聚焦
    存在像散時與聚焦不清是不一樣的。聚焦不清則使像的四周呈現同等程度的模糊。像散則 為影像邊緣沿某一方向被拉長，四周的模糊程度并不均勻。像散與聚焦對成像質量的影響同等重要。掃描電鏡照片的拍攝要力求將像散消減到最小，聚焦達到最清晰。

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