標題淺議電子級雙氧水的顆粒管控

雙氧水也叫過氧化氫，過氧化氫是一種重要的化工原料，化學式為H²O²。純過氧化氫是淡藍色的黏稠液體，可任意比例與水混溶，是一種強氧化劑，水溶液俗稱雙氧水，為無色透明液體。雙氧水的生產方法主要有電解法、蒽醌法、異丙醇法、氧陰還原法和氫氧直接化合法等，蒽醌法是生產雙氧水的主要方法，國內99%以上的雙氧水裝置采用該工藝。

雙氧水的作用 

雙氧水根據濃度及應用域不同可分為電子、食品、工業等。電子雙氧水是生產電子集成電路不可或缺的化學試劑，在半導體制程端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導體硅晶片清洗劑，蝕刻劑和光刻膠去除劑，還可用于高絕緣層制取，電鍍液無機雜質去除，電子行業中銅、銅合金和鎵、鍺的處理，以及太陽能硅晶片的蝕刻和清洗。從行業產量來看，2021年我國高純電子雙氧水產量9.44萬噸，同比增長32.0%。

雙氧水的顆粒管控重要手段

電子雙氧水屬于濕電子化學品，技術壁壘較高。雙氧水的顆粒管控也顯得尤為重要。普洛帝測控門研發了針對雙氧水的顆粒管控設備PMT-2。在雙氧水生產企業已經得到廣泛應用。