標題電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法

什么是電子硫酸？

電子硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。

電子硫酸有哪些應用？

電子硫酸廣泛應用于半導體、超大規模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質顆粒，無機殘留物和碳沉積物。

為什么要對電子硫酸進行顆粒管控？

電子硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子硫酸是芯片制造工藝中用量大的電子化學品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質，質量要求高，產品中金屬離子須達到ppt（ppt=1ng/Kg=10-12）。

目，我國電子硫酸產品完全依賴德國BASF等外企進口，嚴重制約我國芯片產業發展，是主要“卡脖子”產品之一。

近兩年，我國電子硫酸制備技術取得突破，產品質量顯著提高，電子硫酸產品中金屬離子濃度均小于10ppt，超越了國際SEMI-C12（金屬離子<100ppt）別，與國際電子化學品供應量大、品質好的巴斯夫電子硫酸品質處同一（金屬離子<10ppt），達到國內先、一流水平。

基于上述原因，我國新的電子硫酸標準將于2023年5月1日正式施行，也將顆粒管控提到了標準管控層面。

電子硫酸管控有哪些難點？

有2個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子硫酸的腐蝕性很強，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測，接液材質達不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子硫酸檢測無形中增加了麻煩。

如何解決？

針對這2個問題，普洛帝研發團隊經過反復試驗，攻破了這2個難點，將電子硫酸的檢測濃度提升到98%。在高濃度強酸性的情況下，依然可以實現顆粒管控的準確性。這款儀器就是普洛帝自主研發的品牌型號PMT-2，選用0.1-1.0um檢測范圍的強腐蝕性傳感器，實現了電子硫酸的顆粒管控目的。目，已經在江蘇、廣東等地的電子硫酸生產企業得到了應用。