選購勻膠機旋涂儀（spin coater）的三要素
勻膠機有很多種稱謂，（英文叫Spin Coater或者Spin Processor），又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
針對目前勻膠機市場品牌眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事勻膠機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機需要注意的三個要素：
1、 旋轉速度
轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能精確標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒有國際標準認定。建議購買轉速控制方面有國際認定標準的，比如：美國NIST標準等。
2、 真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。
3、 材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國Laurell的WS-400B，500B，650等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯特氟隆, PTFE材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
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