標題電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法

什么是電子硫酸？

電子硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。

電子硫酸有哪些應用？

電子硫酸廣泛應用于半導體、超大規模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質顆粒，無機殘留物和碳沉積物。

為什么要對電子硫酸進行顆粒管控？

電子硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子硫酸是芯片制造工藝中用量大的電子化學品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質，質量要求高，產品中金屬離子須達到ppt（ppt=1ng/Kg=10-12）。