有機廢氣進行脫附時，先啟動脫附風機，氣體經過催化床而被催化床內的電加熱器加熱，加熱后的空氣經過氣動閥門 2 進入活性炭床層，吸附飽和后的活性炭在熱空氣的作用下，有機物質從活性炭表面分離，并隨氣體起進入催化床，在催化床內催化劑的作用下分解成 CO2 和 H2O，同時放出大量的熱，使氣體溫度進步提高.
高溫氣體在催化床內的換熱器進行部分熱量回收后分兩部分，部分通過氣動閥門 3 直接排空；另部分通過氣動閥門 2 進入活性炭層，對活性炭循環再生。通過調節氣動閥 1、2、3 之間的開度，可讓活性炭的脫附溫度穩定地維持在定溫度范圍內。此外，通過控制脫附溫度和風機的流量可使再生氣體中有機物的濃度控制在合適的范圍內，該濃度燃燒放出的熱量可維持系統運行需要的熱量，此時，催化床內的電加熱可停止，系統利用再生出來的有機物燃燒放熱來維持運行，節約運行費用。
催化燃燒裝置內設加熱室，啟動加熱裝置，進入內部循環，當熱氣源達到有機物的沸點時，有機物從活性炭內揮發出來，進入催化室進行催化分解成 CO2 和H2O，同時釋放出熱量，利用釋放出的熱量再進入吸附床脫附時，此時加熱裝置完全停止工作，有機廢氣在催化燃燒室內維持自燃，廢氣再生，循環進行，直至有機物完全從活性炭內部分離，至催化室分解，活性炭得以了再生，有機物得以催化分解處理。
