標題幾何量計量技術的發展步入了嶄新的時期

提供者：上海乾曜光學科技有限公司發布時間：2020/5/27 閱讀次數：204次 >>進入該公司展臺

隨著20世紀60年代初激光的出現，幾何量計量技術的發展步入了嶄新的時期。雙頻激光干涉儀正是利用激光具有頻率穩定、單色性好等優點，在幾何量計量領域發揮著越來越重要的作用。雙頻激光干涉儀具有精度高、應用范圍廣、環境適應能力強、實時動態測速高等一系列無可比擬的優勢，成為幾何量計量活動的生力軍。相比于激光干涉儀，現代雙頻激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，在越來越廣闊的工程測量領域大顯身手。因此，雙頻激光干涉的發明對計量事業的發展乃至整個科學事業的發展有著舉足輕重的作用。本文根據雙頻激光干涉儀應用領域的最新發展，對雙頻激光干涉儀的應用進行了簡要的總結。
雙頻激光干涉儀的發明把幾何量計量發展推向了又一個高峰，雙頻激光干涉儀是目前精度最高、量程最大的長度計量儀器，以其良好的性能、在很多場合，特別是在大長度與大位移的精密測量中得到廣泛應用。就長度計量而言，通常將200m以上的測量稱為距離測量（Distance Measurement），3m以下的稱為一般長度測量，3~200m之間的測量稱為大尺寸測量(Large Dimension Measurement)[1]。雙頻激光干涉儀在一般長度精密測量中多有使用。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定，既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。不僅在單純的長度計量領域，在其他工程技術領域，雙頻激光干涉儀的應用也越來越廣泛，不乏一些很有創見的應用。關于雙頻激光干涉儀在解決某個工程測量問題的研究已經有非常多的成功案例，以雙頻激光干涉儀為關鍵詞的學術論文不勝枚舉，對雙頻激光干涉儀的應用，國內外很多學者常常有很獨到的理解。雙頻激光干涉儀的應用也不斷發展更新，所以，有必要對它的應用做一些有益的總結，使人們更好的理解雙頻激光干涉儀的應用，為推動生產發展提供一些理論依據

關鍵詞：干涉儀

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