氧氣微氧分析儀應用于工業氣體和高純氣體的生產過程中，氣體中氧含量的監測是一個重要課題，必須要用氧氣微氧分析儀進行測量。這是由于氧氣是一種化學活性較強的物質，是一種氧化性最強的氧化劑。
在某些行業，人們需要它作為氧化劑時，就希望其純度越高越好；反之，在另外一些行業，氧在其他氣體中的存在又是一種有害物質，人們又希望氧的含量越少越好。因此，氧氣微氧分析儀在各種氣體中的含量測量范圍都是一個倍受關注的問題。
通常氧含量的檢測方法有很多種，但是根據氣體標準中規定的標準檢測氧含量的方法為化學法氧氣微氧分析儀及電化學法氧氣微氧分析儀。這是由于只有化學法及電化學法才能準確測定氣體中氧含量數值。
有的單位使用氣相色譜儀作為多種氣體成分的檢測方法，同時也可將多種氣體中的氧含量檢測出來。但是，必須指出，氣相色譜儀檢測得出的氧含量數值通常為氧和氬的加和數值（氬為載氣的氣相色譜儀除外），實際上并不單單是氧的數值。這是因為使用氣相色譜分離方法在通常條件下難以分離氧和氬，所得的氧峰數據內已包含氬的含量。而若想完全分離氧和氬，在氣相色譜分離方法方面是困難的，但不是不可行的。事實上，為了數據準確和操作方便，氣體標準規定氣體中氧含量檢測應以化學法及電化學法氧氣微氧分析儀為標準。
