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PDHID氦離子化檢測器介紹
氣體分析常用檢測器性能比較 | ||||
種類 | 氦離子化檢測器 (PDHID) | 熱導檢測器 (TCD) | 氧化鋯檢測器 (ZrO2) | 氬離子檢測器(ArD) |
靈敏度 | 檢測靈敏度最高,氣體中雜質的最小檢測濃度達5ppb | 檢測靈敏度較低,很難測定5ppm以下的雜質 | 檢測靈敏度較低,只能檢測0.1ppm 以上濃度的雜質 | 檢測靈敏度較低,只能檢測0.05ppm 以上濃度的雜質 |
通用性 | 通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機物質均有很高的響應,適用于所有高純氣體和電子工業用氣體 | 通用型檢測器 | 選擇性檢測器,只能檢測氣體中H2、O2、CH4、CO四種雜質 | 選擇性檢測器,只能檢測氬氣中組份 |
放射性 | u非放射性檢測器,使用安全 | 非放射性 | 非放射性 | 放射性檢測器 |
在放電區相鄰的電極上加一恒定的負偏電壓。響應值隨偏電壓的增加而急劇增大,很快即達飽和。在飽和區響應值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區內工作,噪聲較低;髋c偏電壓的關系同響應值與偏電壓。
3、通過放電區的氦流速:
氦通過放電區有兩個目的:a.保持放電區的潔凈,以便氦被激發;b.它作為尾吹氣加入,以減少被測組分在檢測器的滯留時間。只是它和傳統的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul,對峰寬為5s的色譜峰,要求氦流速為6.8-13.6ml/min,如果峰寬窄至1s,流速應提高到34-68ml/min,以保持被測組分在檢測器的滯留時間短至該峰寬的10%-20%。
4、電離方式和性能特征:
PDHID的電離方式尚不十分明朗,綜合文獻敘述,電離過程有三部分組成:a.氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離;b.被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB,產生信號,或直接電離載氣和雜質產生基流;c.亞穩態氦與組分反應電離產生信號,或與雜質反應電離產生基流。.
e + AB→AB+ + 2e
e + He→He**→ He* + hν
He* + AB→AB+ + e + He
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