標題真空檢漏關鍵詞

漏氣：氣體通過裝置，容器上的漏孔或間隙，從高壓測流到低壓去的現象叫漏氣， 也叫實漏。

虛漏：在系統內，由于氣體或蒸氣的放出所引起的壓力增加現象。

漏率：在某種特定壓強下，某種氣體通過漏孔的單位時間的流量大小pa*m3/s

滲漏：氣體通過材料從高壓側漏到低壓側去的現象

檢漏：檢測漏氣部位及漏率大小的過程

漏孔：氣體在壓力或濃度差的作用下，從器壁的一側通到另一側的孔洞。

標準漏孔：在規定的條件下，漏率已知的一種校準漏孔

檢漏儀：用來檢測被檢件漏孔位置及漏率大小的儀器

檢漏儀的最小可檢檢漏率：當存在本底噪音時，將檢漏儀及其外部檢漏系統調整到具體檢漏工作狀態（允許有分流），當示漏氣體通過被檢件上的漏孔時，全部（或者部分）示漏氣體進入檢漏儀，在此情況下所能檢出的最小漏率。

反應時間：從示漏氣體施加到漏孔進氣端開始，到檢漏儀凈偏轉到最大漏氣信號的63%所經歷的時間，可以認為他與漏孔大小及施氦濃度無關

觀察時間；從示漏氣體施加到漏孔進氣端開始，到檢漏儀凈偏轉到達最大漏氣信號的90%所經歷的時間，

靈敏度；檢漏儀對示漏氣體泄漏的響應（即單位漏率顯示的表盤刻度值）

質譜：主要就是通過不同分子m/z（質量電荷比）的不同，通過電場（或電磁場）將他們區分開，在對信號進行探測（【相對分子（原子）質量的圖譜】）

漏氣是絕對的，不漏是相對的，所謂 不漏 是指漏孔的漏率遠小于容許漏率或檢漏儀的最小檢漏率。