標題LED能在生產中對光學原位進行監測?

 
高產量、高亮度的LED生產極具挑戰性。隨著高亮度LED的應用范圍更進一步地擴大，今后高效率及高成品率的設備將會是市場的主流。比如顯示器背光、汽車照明以及普通照明，它們成為化合物半導體技術空前發展的驅動力。LED的崛起是驅動MOCVD設備生長的原動力。

光學監控系統是在GaN外延過程中利用晶片的反射率及溫度提供實時的信息給使用者，這種方法已被廣泛的使用。干燥箱的LED能在生產中對光學原位進行監測。

未來系統的發展以遠程遙控為主，這種監控系統一定要與MOCVD系統聯系起來甚至是做整合。有了這種先進的原位系統實時監控，可以在某個生產周期結束時，系統能自動測出外延生長中的所有參數及分析數據，包括生長速度，如此可避免一些人為的疏失。實時溫度測量用于估測每塊晶片的均勻性，尤其在未來多片式的量產系統中更需要這種原位監測系統，為使用者提供外延生長中晶片的特征參數。