微型儀器技術的介紹

　　微型智能儀器將在21世紀儀器發展中占有重要的地位，各種微型智能儀器都將發揮重要的作用。微型智能儀器可把不同的微型機械電子系統（MEMS）組裝在一起。它既有固定部件，又有活動部件，并向微芯片的集成化方向發展;既可以是專用儀器，又可以是通用儀器;可以是分系統的組合，也可是單獨的系統�？蛇M行模塊化的組合，根據不同的用途完成不同的使用要求。微型智能儀器有著極其廣闊的應用前景，是MEMS技術發展的重要方向。

　　納米測量技術指尺度為0.01 nm～100 nm的測量技術。在納米技術中，納米測量技術、納米加工技術和納米結構并列為納米技術的三大研究主題。納米測量技術的研究是納米技術研究的重要組成部分。

　　1　納米測量技術

　　納米測量技術涉及傳感器技術、探針技術、定位技術、掃描探針顯微鏡（SPM）技術等。

　　2　傳感器技術

　　無論何種納米測量技術都必須依靠傳感器。目前進行納米測量的傳感器主要分為電感傳感器、電容傳感器、光干涉傳感器三類。

　　在高精度測量中，電感傳感器應用*廣。一般電感傳感器有線性差動變壓器（LVDT）和線性差動電感器（LVDI），兩種形式，它們都是當鐵磁線圈的位置變化引起磁場的變化，通過測量磁場變化達到測量位移的目的。

　　電容位移傳感器采用平行極板之間的電容變化來反映兩極板距離變化，從而達到測微目的。電容傳感器靈敏度很高，并可進行非接觸測量，成為納米測量中重要的傳感器。

　　光學位移傳感器測量的基本原理都是邁克爾遜干涉儀。干涉條紋的寬度為0.5，約0.2m。通過細分達到納米分辨率。

原創作者：金湖美安特自動化儀表有限公司