• 0.5微米傳感度
• 0.1立方英尺/分鐘(2. 83 行數/分鐘)流速
• 2通道同時數據顯示
• 符合JIS標準
• 小巧外觀
• 不銹鋼外殼
• 狀態指示燈
• 脈沖輸出
• 面向設備監測系統的界面
• 多種配置可供選擇
• 外置式真空源
• 值得信賴的設計

• 兩年質量保證
• 空間有限時便于安裝
• 每點高性價比
• 完整的驗證數據
• 提供持續實時監測數據
• 綜合安裝系統
• 全球技術服務支持
• 用戶低成本

• 潔凈室監測
• 設備認證
• 設備監測
• SMIF 監測和FIMS封裝
• 潔凈室凈衣區
• 潔凈室包裝區
• 半導體業
• 航天航空
• 硬盤制造業
• 醫藥包裝和制造

微徑大小

0.5-25.0微米

通道大小

標準:0.5,5.0 微米
標準: 0.5,10.0 微米

計數效能

50% @ 0.5 µm; 100% for particles>0.75µm (per JIS)

流速

0.1立方英尺/分鐘(2. 83 行數/分鐘)

激光源

激光二極管

零計數度

<1/ 5 minutes (per JIS)
<1/ 5 minutes (JIS) <1計數/5分鐘(每JIS)

校準

NIST跟蹤

真空要求

外置式真空度為>38.1厘米汞柱

通行模式

Pluse Output 脈沖輸出

LED 指示燈

電源, 維修

接口

RJ 45 (數據)

軟件支持

萊特浩斯微粒監測系統

濃度限制

2000,000個/立方英尺@5%重疊損失

外殼

不銹鋼

電源

24伏直流電

尺寸

1.7英寸(長)×4.2英寸(寬)×2.5英寸（高）[4.3 x 10.7 x6.3 cm]

重量

12.5盎司(0.35公斤)