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InfiniteFocus功能之一:可追蹤的形態和粗糙度測量
點擊次數:256 發布時間:2009/2/9
新的粗糙度標準提供了可追蹤的光學粗糙度測量
迄今為止,新的粗糙度標準為光學粗糙度測量提供了驗證。通常,表面的傳統標準只適用于接觸式掃描技術,而光學測量很難被追蹤。
Alicona的新粗糙度標準既適用于接觸式也適合于光學測量系統。該標準顯示了光學無限變焦技術和接觸式測量在相同的公差范圍內可以取得等價的測量結果。
對于粗糙度標準對光學粗糙度測量的驗證,Alicona也提供了一個可校準和驗證的micro contour artefact,來追蹤形態測量。
無限變焦的光學技術適用于實驗室和生產中高分辨率的測量。即使在陡峭的斜面和強反射性能的情況下,垂直分辨率也可以高達10nm。在質量保證方面,該技術被成功地用于形態和粗糙度測量。無限變焦技術被包括在新的ISO標準25178中,新的ISO標準25178次包括光學處理技術。