在保留XGT-1000WRX射線熒光光譜儀優點的基礎上，Horiba又推出專用于微區分析的X熒光分析儀。XGT-5000WR/5700WR采用Horiba技術，可將X射線聚集成全世界*小的10µm射線束，點分析的強度相當于SEM-EDX，是同類產品的20倍。不但可以對樣品的表面進行形貌掃描，也可對樣品的內部結構透視掃描，甚至還可以實現元素掃描。

該X射線熒光光譜儀體現了劃時代的顯微技術與功能強大的元素分析和結構分析技術的完美結合，目前已經在全球電子企業中取得了驕人業績。

X射線熒光光譜儀技術參數：
★   10μm的世界分辨率分析
★   樣品尺寸350mm×400mm×40mm
★   可以進行光學掃描分析
★   可以進行元素掃描分析
★   可以進行結構透視分析
★   *多可99個點的多點分析 
★   可以進行線性分析
★   數據可輕松導出