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高溫四探針測試儀用于:企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。
型號及參數:
規格型號 BEST-351B
1.方塊電阻范圍 10^-6~2×10^5Ω/□
2.電阻率范圍 10^-7~2×10^6Ω-cm
3.測試電流范圍 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
4.電流精度 ±0.1讀數
5.電阻精度 ≤0.3%
6.PC軟件界面 顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式 雙電測量
8.四探針儀工作電源 AC 220V±10%.50Hz <30W
9.誤差 ≤3%(標準樣片結果)
10.溫度(選購) 常溫--200℃;400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃
11.氣氛保護(氣體客戶自備) 常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無色、無臭、氣態的單原子分子
12.溫度精度 沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
13.升溫速度: 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘
14.高溫材料 采用復合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征
15.PC軟件
測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數據!
16.電(探針)材料標配 鎢電或鉬電+電(探針)陶瓷管 +高溫陶瓷樣品臺,1套.
17.探針間距 直線型探針,探針間距:4mm;
18.樣品要求 樣品長度要求≥13mm 樣品寬≥2mm或直徑≥13mm
19.高溫電源:
供電:400-1200℃ 電源220V,功率2-4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率4-6KW:
20.標配外(選購): a電腦和打印機1套;b.標準電阻1-5個;
c.S型鉑銠探針電(溫度范圍:200-1300度);
d.B型鉑銠探針電(溫度范圍:1400-1600度)標準配置外訂購明細:
序號 品名 單位 數量 備注
1 測試線 套 1 4條為1套
2 標準電阻 個 1-5 選購規格和數量
3 高溫陶瓷樣品平臺 套 1 適用于固態樣品;溫度≤1200度
4 高溫陶瓷樣品平臺 套 1 適用固態、液體樣品;溫度≤1200度
5 高溫陶瓷樣品平臺 套 1 適用于固態樣品;溫度≥1300度
7 高溫陶瓷樣品平臺 套 1 適用固態、液體樣品;溫度≥1300度
8 鎢電組合4根 組 1 陶瓷+鎢針一組4根;溫度≤1200度
9 S型鉑銠電組合4根 組 1 陶瓷+鉑銠一組4根;溫度≤1300度
10 B型鉑銠電組合4根 組 1 陶瓷+鉑銠一組4根;溫度≤1700度
11 剛玉坩堝 個 1 消耗品;
12 剛玉陶瓷管4根 組 1 4根為一組
13 分析軟件 套 1
14 電腦+打印機 套 1 依據客戶要求配置
15 檢測技術服務 份 1 計量證書1份
16 高溫手套 雙 1
17 高溫坩堝鉗 把 1
18 高溫升降裝置 套 1
延保服務 年 1-3