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              電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法

              點擊次數:156 發布時間:2023/4/17 9:59:25
               近期普洛帝測控液體顆粒計數器部門接到好幾個咨詢電話,都是咨詢管控電子硫酸的儀器。

              什么是電子硫酸?

              電子硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。

              電子硫酸有哪些應用?

              電子硫酸廣泛應用于半導體、超大規模集成電路的裝配和加工過程,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質顆粒,無機殘留物和碳沉積物。


              為什么要對電子硫酸進行顆粒管控?

              電子硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子硫酸是芯片制造工藝中用量大的電子化學品,主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質,質量要求高,產品中金屬離子須達到pptppt=1ng/Kg=10-12)。

              原創作者:灃西新城諾明翰儀器服務中心

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