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電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法
點擊次數:156 發布時間:2023/4/17 9:59:25
近期普洛帝測控液體顆粒計數器部門接到好幾個咨詢電話,都是咨詢管控電子硫酸的儀器。
什么是電子硫酸?
電子硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,屬于超凈高純試劑,是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。
電子硫酸有哪些應用?
電子硫酸廣泛應用于半導體、超大規模集成電路的裝配和加工過程,主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,可有效除去晶片上的雜質顆粒,無機殘留物和碳沉積物。
為什么要對電子硫酸進行顆粒管控?
電子硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子硫酸是芯片制造工藝中用量大的電子化學品,主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質,質量要求高,產品中金屬離子須達到ppt(ppt=1ng/Kg=10-12)。
原創作者:灃西新城諾明翰儀器服務中心