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公司動態
工具顯微鏡
設計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
? 目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
? 由于可測量的范圍窄,無法將數量較多的樣品排列在載物臺上,以實現一次性同時測量。
[STM7解決方案]
共有四種獨特的正方形測量行程的載物臺可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統可以在粗調和微調之間實現快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉樣品就實現大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或專用金相物鏡,無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學系統和測量光學系統同時結合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應并協助用戶選擇更佳的觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候,無需擔心物鏡與樣品之間發生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。