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● 專為CV-4500系列增加了以下兩大特性： (1) 裝配雙面測針，實現垂直方向(上/下) 連續測量，所獲取的數據實現簡單分 析以往難以測量的內螺紋有效直徑。 (2) 測力可在FORMTRACEPAK軟件中設 置。無需調整配重位置。
規格
貨號 CV-4500S4 CV-4500H4 CV-4500W4 CV-4500L4 CV-4500S8 CV-4500H8 CV-4500W8 CV-4500L8
測量 范圍
X軸 100mm 200mm Z1軸 (檢出器) 60mm (水平位置±30mm) Z2軸 (立柱) 移動范圍 300mm 500mm 700mm 300mm 500mm 700mm
Z1軸 (檢出器)
光柵尺類型 弧形 分辨力 0.02µm 測針上/下運作 弧形移動 測量方向 向前/向后 測針方向 垂直方向 (向上/向下單獨測量) 測力 10,20,30,40,50mN (根據軟件轉換) 跟蹤角度 向上: 77º, 向下: 83º (根據表面粗糙度，使用標準單切面測針*1)
驅動部
長度基準
X軸 激光全息光柵尺 Z2軸 (立柱) ABS光柵尺
分辨力
X軸 0.05µm Z2軸 (立柱) 1µm
驅動速度
X軸 0～80mm/s外加手動 Z2軸 (立柱) 0～30mm/s外加手動 測量速度 X軸 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20mm/s 直線度*2 X軸 0.8µm/100mm 2µm/200mm 傾角范圍 X軸 ±45º
精度 (20ºC)
X軸
±(0.8+0.01L)µm L=驅動長度(mm) 寬范圍：1.8µm/100mm 窄范圍：1.05µm/25mm
±(0.8+0.02L)µm L=驅動長度(mm) 寬范圍：4.8µm/200mm 窄范圍：1.3µm/25mm Z1軸(檢出器) ±(0.8+｜2H｜/100)µm H=水平位置上的測量高度(mm) 外形尺寸 (W×D×H) 主機*3 756×482 ×966 mm 756×482 ×1166 mm 1156×482 ×1176 mm 1156×492 ×1436mm 766×482 ×966 mm 766×482 ×1166 mm 1166×482 ×1176 mm 1166×492 ×1436mm 重量 主機 140kg 150kg 220kg 270kg 140kg 150kg 220kg 270kg
