高純電子化學品研究過程中需要使用大量工藝水、洗滌水、循環水，水質對產品質量的影響不容忽視。由于高純電子化學品對雜質要求為嚴格，所使用的超純水須絕對達到國標水標準，即無離子、無可溶性有機物、無菌、微粒達標、電阻率達到18. 2MΩcm。我國于1997年制定了電子行業用超純水國家標準GB / T11446. 121997，分為兩，水相當于美國半導體行業Ⅱ純水標準。

如果試驗過程中誤操作引入不潔凈的水，如洗滌不干凈，或由于循環水因微小焊縫滲漏，致使產品 Ca、M g、K、N a等離子大大升高，試驗結果和有效性將大打折扣。與此同時，在清洗試驗設備 器皿時也要有套嚴格的清洗制度，潔凈用具需上機檢測潔凈度，盡可能避免引入雜質和雜質富集而影響終產品質量，因此研發過程中必須十分重視超純水質的問題，配備超純水設備。