儀器簡介:

Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺設計，為不同尺寸、形狀、數量的樣品提供了方便可靠的測試環境。解耦合的閉環XY掃描器，消除了彎曲效應誤差，提供了無與倫比的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴大了適合樣品種類，同時極大地延長了探針壽命，降低了使用成本。

技術參數：

掃描器

XY掃描器

柔性制導閉環控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）

Z掃描器

柔性制導強力掃描器

掃描范圍12μm（可選25μm）

共振頻率：>5kHz

表面成像噪聲：0.03nm

樣品臺

樣品臺種類：16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺（可選200mm直徑真空吸附臺）

樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm

樣品重量：500g

樣品臺移動范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）