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研究超大,超重,超高樣品的分析型掃描電鏡
●可載樣品直徑達300mm
●觀察區域直徑達203mm
●在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析
●樣品室設置多種接口,可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
●5軸優中心馬達臺可以傾斜-20度~+90度
●采用節能,清潔的渦輪分子泵
S-3700N技術參數 | ||
分辨率 | SE | 3.0nm,30KV(高真空模式) 10nm, 3KV(高真空模式) |
BSE | 4.0nm,30KV(低真空模式) | |
放大倍率 | x5~x300,000 | |
加速電壓 | 0.3~30KV | |
低真空范圍 | 6~270Pa | |
圖像電位移 | ±50μm (工作距離10mm) | |
樣品尺寸 | 直徑300mm | |
樣品臺 | ||
X | 150mm | |
Y | 110mm | |
Z | 5~65mm | |
R | 360° | |
T | -20°~90° | |
觀測區域 | 203mm | |
樣品高度 | 直徑110mm(工作距離10mm) | |
樣品臺類型 | 優中心馬達臺 | |
電子光學系統 | ||
燈絲 | 預對中燈絲 | |
物鏡 | 4孔活動光闌 | |
光闌 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 | |
槍偏壓 | 二次電子探頭 | |
探測器 | 5分割半導體式被散射探頭 | |
分析位置 | 工作距離10mm,取出角35° | |
顯示控制系統 | ||
控制模式 | 鍵盤鼠標、操縱桿、旋鈕板 | |
顯示器 | 液晶顯示器 | |
輔助功能 | 3D動畫演示功能 | |
電鏡操作導航功能 | ||
樣品操作導航功能 | ||
傾斜補償功能 | ||
存儲圖像精度 | 640 x 480 , 1280 x 960 | |
2560 x 1920 , 5120 x 3840 | ||
圖片格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
圖像顯示模式 | 全屏模式:1280 x 960 | |
標準模式:640 x 480 | ||
分割模式:640 x 480 點x 2 | ||
信號混合模式 | ||
真空系統 | ||
控制模式 | 全自動 | |
分子泵 | 210升/秒,一臺 | |
機械泵 | 135升/分,一臺 | |
保護措施 | 斷電保護、漏氣保護 |