【Hitachi】日立新型場發射掃描電子顯微鏡SU8200系列（SU8220，SU8230，SU8240）

儀器簡介

　　SU8200 系列冷場掃描是日立經過多年潛心鉆研，巨額投入而研發出來的新一代革新性冷場電鏡，此系列掃描電鏡在完全秉承以往冷場發射掃描電鏡全部優點的同時，將探針電流進行了大幅提高，電流穩定性得到了極大增強，同時避免了燈絲Flash 后的采圖等待時間，可以說其彌補了以往冷場電鏡的所有弱勢，成為一款真正的超高分辨分析型冷場掃描電鏡，上演了一部現實版的王者歸來!

主要特點：

　　日立新研發的冷場電子槍

1.利用電子槍轟擊后的高亮度穩定期，束流更大更穩定，高分辨觀察和分析兼顧

2.大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

3.減輕污染的高真空樣品倉

4.通過頂部過濾器(選配項)實現多種材料對比度可視化