配有VP功能的新型熱場掃描電鏡SU6600型可以提供200nA的探針電流，并且配置了VP功能，可以滿足不導電樣品的無蒸鍍觀測。

配有VP功能的新型熱場掃描電鏡SU6600型的特點
1.200nA的探針電流，可滿足EDX、WDX、EBSP、CL等應用
2.配有VP功能，可自動實現壓差光闌的安裝和取出
3.配有二次電子探頭和背散射探頭，可選配ESED
4.大型分析型樣品室，可方便的安裝多種分析附件
5.可裝載150mm直徑、40mm高樣品
6.電腦控制的5軸優中心馬達樣品臺

配有VP功能的新型熱場掃描電鏡SU6600型技術參數
二次電子分辨率：1.2nm @ 30KV,3.0nm @ 1KV,4.5nm@30KV,150Pa
背散射電子分辨率：3.5nm @ 30KV
放大倍率：10~600,000（輸出尺寸127x96mm）
電子槍類型：熱場發射
探針電率：1pA~200nA
加速電壓：0.5~30KV
物鏡光闌：自清潔、4孔可動式
束閘：電磁式
樣品臺：電腦控制的5軸優中心馬達樣品臺
X：0~110mm
Y：0~110mm
Z：4~40mm
T：-5°~+70°
R：360°
樣品尺寸：直徑150mm x 高40mm
探頭：二次電子探頭
背散射電子探頭