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              自動橢圓偏振測厚儀

              點擊次數:183發布時間:2010/7/30 21:31:39

              自動橢圓偏振測厚儀

              更新日期:2010/9/1 18:41:36

              所 在 地:

              產品型號: TPY-2型

              簡單介紹:產品特點:儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要

              相關標簽:

              優質供應

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              產品詳細說明

              產品特點:
              儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高。
              儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
               
              規格與主要技術指標:
              測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍:1-10   
              測量*小示值:≤1nm                  入射角:20°- 90°精度≤0.05°
              度盤刻度:每格1度                    允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
              偏振器步進角:0.014°/步               偏振器方位角范圍:0°- 180°    
              測量膜厚和折射率重復性精度分別為:0.5nm和0.005
              儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
              光學中心高度:80mm   
               
              成套性:主機、電控系統、USB接口、配套軟件(需配計算機)
              主機重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm

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