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<b>德國C1光譜共焦納米級位移計</b>
傳感器測量系統基于光譜共焦原理,由光學頭和控制器組成,之間通過一根光纜連接。光纜長度可根據用戶需要配制,標準2米,*長10米.
<b>原理:</b>
鹵素燈發出的全色白光由光學透鏡組分離成色譜,色譜中被精確聚焦的單色光沿軸向紅、黃、綠、有序精確排列,每一個單色光的波長代表一個精確的空間軸向位置。測量時,單色光在被測體表面形成的焦點,被反射到控制器中光譜空間濾波器檢出,由頻譜分析儀處理,被測體表面這一聚焦點上的光波波長被精確檢出,軸向空間位置也就被精確檢出。其波長測量原理決定分辨率高達納米級。
<b>特點:</b>
*納米級分辨率;與光強度無關,即于被測體反射系數無關;
*適用各種金屬、非金屬,以及透明材料的表面位置、位移測量。并與被測體表的亮暗無關;
*精致緊湊光路結構,光學傳感器頭離控制器幾米遠,給使用帶來方便;
*單向可測玻璃厚度、透鏡厚度,以及透明薄膜厚度測量;
*與三角反射法不同,幾乎無反射角要求,且無反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測量;
*對環境要求不高:無需附加背景光,對被測體溫度不敏感, 對被測體表面色差和紋理不敏感;
<b>應用:</b>
納米級的測量精度,對被測表面無特殊要求,無論是漫反射或全反射被測表面都能檢測。特別適合玻璃等透明物體表面平整度,及厚度測量;
小孔深度測量;透明、非透明液面測量:
<b>指標:</b>
量程0.3 mm
分辨率25 nm
線性0.5%
重復性10 nm
測量間隙4 mm
光源鹵素燈55W
光斑直徑9µm
測量垂直度90º±25º
響應:30HZ~1500HZ
輸出:數據接RS232,模擬0-10V
重量:傳感器約30g,儀器約4Kg