技術參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024
光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW1 白光干涉儀檢測粗糙度不僅用于零件的檢測，還是種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SuperViewW1 白光干涉儀檢測粗糙度由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。以白光干涉技術為原理，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。