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Junior小型等離子清洗機技術資料
反應艙 | 材料:鋁。有效尺寸:直徑230mm x 深度250mm。容積:10.4升艙門:裝有可視窗口。托盤:訂制 |
真空度測量 | 皮拉尼真空計 |
真空泵 | 二級旋片式真空泵;3m3 每小時。 |
頻射發生器 | 0~600w可調。2.45GHZ發生器 |
控制系統 | 觸摸屏操作,PLC控制系統PLC可實現下列功能: 1,自動控制反應過程; 2,根據處理材料設定不同的處理工藝流程; 3,測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標; 4, 監測所有的運行指標,保證在設定范圍之內; 5,設定操作、維護密碼。 |
電源 | 220V AC, 50HZ, 16A. |
反應氣體 | 一個氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC)。 |
氣體輸入 | 直徑1/4’’ 管道;輸入壓力:1Bar. |
安全性能 | 急停開關;真空泵保護鎖;高溫保護鎖;CE安全認證。 |
用途:
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件:
1. 15m3 每小時真空泵。
2. 頻射發生器:100KHZ, 13.56MHZ。
3. 石英反應艙
4. 根據客戶要求制作的托盤
5. N2 Purge.
- 主要特點